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鋁合金Al6061中缺陷對金剛石車削光學(xué)元件衍射效應(yīng)的影響

摘要：鋁合金Al6061是制造反射光學(xué)元件最常用的材料之一。為揭示Al6061材料的金剛石車削后材料缺陷造成的衍射效應(yīng)影響，本研究基于成熟的表面形貌模型進(jìn)行了模擬分析。結(jié)果表明：當(dāng)x-y軸方向尺寸參數(shù)相近的缺陷（如晶界、硬質(zhì)夾雜物凸起及空洞）存在時，會導(dǎo)致接收屏上出現(xiàn)全局性衍射光斑。加工表面劃痕主要影響水平方向衍射光斑分布，其影響模式與車削痕跡相似。氧化膜對衍射光分布的影響較為有限，因其在環(huán)境中具有均勻特性且厚度較小。模擬與實驗結(jié)果表明，隨著工件基體中缺陷尺寸增大，鏡面光的衍射效率明顯降低。